Sai come filtrare i liquami CMP nell'industria dei semiconduttori?

L'impasto liquido CMP è un materiale di consumo utilizzato per la lucidatura chimico-meccanica nel processo di produzione dei semiconduttori. In base alla differenza delle particelle abrasive, il liquame CMP è principalmente suddiviso in liquame di silice, liquame di ossido di cerio, liquame di allumina e liquame di nano diamanti, ecc. Le particelle solide e gli ossidanti chimici nel liquame CMP svolgono rispettivamente il ruolo di macinazione e di diluizione della corrosione.

Il liquame CMP può contenere particelle di grandi dimensioni durante il trasporto, l'ambiente secco o particelle che cadono dal sistema di distribuzione del liquame. Queste particelle di grandi dimensioni possono causare graffi sulla superficie dei wafer semiconduttori. Per ridurre i microsegni sulla superficie del wafer semiconduttore è necessario installare a Sistema di filtraggio per filtrare il liquame CMP.

Al momento, esistono principalmente due tipi di schemi di filtrazione: schema di filtrazione ad anello o ricircolo e schema di filtrazione al punto di utilizzo (POU). La filtrazione ad anello o a ricircolo rimuove principalmente le particelle più grandi nel liquame CMP, quindi il liquame CMP viene trasportato allo strumento dal circuito di distribuzione. La filtrazione al punto d'uso (POU) serve principalmente a rimuovere grandi particelle di impurità nell'impasto liquido quando l'impasto liquido viene distribuito sul tampone di lucidatura. L'attrezzatura del sistema di filtrazione generalmente seleziona Alloggiamenti filtro in acciaio inossidabilee i materiali di consumo del filtro generalmente selezionano Cartucce filtranti pieghettate e Cartucce soffiate a fusione.

Quando si progetta un sistema di filtrazione dei liquami CMP, è necessario selezionare materiali di consumo per la filtrazione idonei in base alla dimensione delle particelle, alla torbidità e al tipo di liquame presente nel liquame in loco. Ciò può migliorare l’efficienza del lavoro e risparmiare sui costi di filtrazione.