Il processo di taglio dei semiconduttori e riutilizzo delle acque reflue

Le principali impurità delle acque reflue del taglio dei semiconduttori sono le acque reflue industriali contenenti particelle di silicio idrosolubili e detergenti. Lo scarico diretto causerà inquinamento per l'ambiente e, al fine di utilizzare in modo completo, razionale ed efficace le risorse idriche, le acque reflue di taglio vengono generalmente filtrate direttamente in acqua ultrapura per il riutilizzo.

Il processo di filtrazione del riutilizzo delle acque reflue da taglio dei semiconduttori: 

acqua grezza-filtrazione primaria-filtrazione di precisione-ultrafiltrazione-filtrazione ad osmosi inversa-sistema EDI-acqua ultrapura

1.Filtrazione primaria

Le acque reflue di taglio raccolte vengono pompate attraverso una pompa per acqua grezza in un sistema di filtraggio collegato a sua volta da un serbatoio di sabbia di quarzo, un serbatoio di carbone attivo e un addolcitore per filtrare grandi particelle di silicio e parte del materiale sospeso.

2.Filtrazione di precisione

Per un'ulteriore filtrazione precisa del filtrato dopo la filtrazione primaria, viene utilizzato il sistema di filtrazione di sicurezza per rimuovere le impurità come le particelle di silicio più piccole nel liquido. Prolunga la durata del sistema di ultrafiltrazione della fase successiva e riduce i costi di filtrazione. La cartuccia Melt Blown Hongtek è generalmente installata nel sistema di filtraggio di sicurezza e le specifiche più utilizzate sono le seguenti:

Cartuccia Melt Blown in PP serie NPP da 40" e 5 micron

3.Ultrafiltrazione

Utilizzando una pompa ad alta pressione il filtrato viene pompato in un sistema di ultrafiltrazione per il trattamento di filtrazione, per rimuovere una parte delle particelle di silicio idrosolubili, grasso e altre sostanze presenti nelle acque reflue detergenti. Successivamente il filtrato viene introdotto nel serbatoio dell'acqua.

4. Filtrazione ad osmosi inversa

Il filtrato nel serbatoio dell'acqua viene pompato nel sistema di filtraggio ad osmosi inversa attraverso una pompa ad alta pressione per rimuovere le rimanenti particelle di silicio idrosolubili, il grasso e altre sostanze nelle acque reflue del detergente, quindi viene caricato nel serbatoio dell'acqua.

5.Sistema EDI

Il liquido trattato per il trattamento dell'osmosi inversa viene pompato nel sistema EDI da una pompa booster e gli ioni nel liquido vengono rimossi mediante una tecnologia di scambio ionico. Successivamente viene caricato in un serbatoio di acqua ad elevata purezza per il riutilizzo in produzione.